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离子注入机剂量控制系统

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离子注入机剂量控制系统

离子注入机剂量控制系统

系统功能

1）离子注入剂量精确控制
2）实时剂量监测
3）工艺参数优化

技术特点

1.超高精度剂量控制
2.快速响应反馈
3.工艺配方管理

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